先進(jìn)的用于掩膜刻寫與檢測的2KHz IndyStar準(zhǔn)分子激光器
2kHz高重復(fù)頻率IndyStar準(zhǔn)分子激光器是半導(dǎo)體工業(yè)中超高精度的193nm和248nm照明光源。IndyStar準(zhǔn)分子激光器的2kHz重復(fù)頻率以及它的高穩(wěn)定性在基于紫外激光生產(chǎn)和質(zhì)量檢測的光掩膜中起到至關(guān)重要的作用，可獲得更小的微芯片結(jié)構(gòu)。
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2KHz IndyStar準(zhǔn)分子激光器
激光制造商情 來源：廣東星之球2010-12-01
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先進(jìn)的用于掩膜刻寫與檢測的 2KHz IndyStar 準(zhǔn)分子激光器 2kHz 高重復(fù)頻率 IndyStar 準(zhǔn)分子激光器是半導(dǎo)體工業(yè)中超高精度的 193nm 和 248nm 照明光源。 IndyStar 準(zhǔn)分子...
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