星之球激光 來源：激光網2012-02-12
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利用Nd∶KGW激光器，采用光束掃描寬化技術和掩模微縮成像方法研制了用于微打標及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系統。系統采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模，光...
利用Nd∶KGW激光器，采用光束掃描寬化技術和掩模微縮成像方法研制了用于微打標及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系統。系統采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模，光束掃描面積為(有效掩模面積)30 mm×30 mm。微縮成像系統的縮小倍率分別為8～10倍(f=100 mm透鏡)和15～20倍(f=50 mm透鏡)。對該系統的加工尺寸和加工精度進行了分析。實驗結果表明：系統達到的最小標刻寬度和加工圖形精度均為10 μm，與分析結果一致。系統的單次加工深度為007～01 μm，最大加工深度為200 μm，可滿足工業微加工技術的基本要求。
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