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- 2023-05-19 09:12激光光刻與煅燒相結合制備玻璃陶瓷三維微光學元件
- 2023-05-06 09:12突破！激光光刻技術又有新進展
- 2023-02-08 13:56大族激光光刻機獲新進展
- 2020-07-27 09:46突破1/55衍射極限，我國學者開發新型5 nm超高精度激光光刻加工方法
- 2020-07-11 09:20國產5nm激光光刻取得重大進展,專家:打破西方封鎖
- 2020-07-08 21:20中科院研發新型激光光刻技術：不用EUV 直擊5nm
- 2020-07-07 20:55蘇州納米所在超高精度激光光刻技術上取得重要進展
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