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- 2025-06-10 16:11ASML稱中國早已研發(fā)國產(chǎn)光刻機(jī)：中科院成功研發(fā)DUV光源技術(shù) 能生產(chǎn)3nm
- 2025-01-08 09:46事關(guān)光刻機(jī)！這一新型部件或重塑現(xiàn)有系統(tǒng) 光源效率有望提升10倍
- 2024-10-09 15:27科普：EUV 光刻機(jī)的 13.5nm 光源是如何實(shí)現(xiàn)的？
- 2024-07-22 10:39京華激光莫名漲停，防偽龍頭光刻機(jī)概念來路是否純正？
- 2023-09-01 10:48大族激光：公司自主研發(fā)的光刻機(jī)主要用于分立器件的部分加工環(huán)節(jié)，目前尚不涉及上述技術(shù)
- 2023-07-04 09:26光刻機(jī)塵埃落定，ASML自己也將受傷，沒有誰是贏家
- 2023-07-03 13:34投資50億日元，這家廠商生產(chǎn)DUV光刻機(jī)核心設(shè)備光源
- 2023-05-09 09:06打破技術(shù)封鎖，哈工大光刻機(jī)取得重大突破
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