激光制造網 來源：快科技2025-07-01
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快科技6月30日消息，在衛星激光通信中，光束控制精度關乎通信質量，快速反射鏡猶如“精密心臟”。近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研制出集成角度傳感器的高...
快科技6月30日消息，在衛星激光通信中，光束控制精度關乎通信質量，快速反射鏡猶如“精密心臟”。
近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研制出集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡，鏡面尺寸大、封裝體積小，性能優良，在激光衛星通信方面潛力巨大。
該快反鏡歷經近五年才研制成功，采用雙層異構集成與晶圓級鍵合工藝，體積僅一枚1元硬幣大小。
封裝后的MEMS快反鏡
它攻克傳統機械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術瓶頸，打造出航天級產品，指向精度達μrad量級，滿足星載應用的超高性能指標。
受手機屏幕啟發，團隊利用硅壓阻應變原理集成片上角度傳感器，通過結構創新使靈敏度提升63%，優化光束控制精確性。
測試結果表明，在特定頻率下，角度精度達標，最大動態表面形變僅2納米。
官方打了一個比方，這就相當于在足球場大小的鏡面上，所有起伏不超過一根頭發絲的直徑，滿足遠距離衛星激光通信對鏡面面型的嚴苛要求。
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