據“中國科學院上海微系統”公眾號消息，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感器技術全國重點實驗室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研制方面取得重要進展。制備的MEMS快反鏡鏡面尺寸大，封裝體積小，并具備良好的線性度、角分辨率、響應速度、重復定位精度和鏡面動態形變，同時集成了高靈敏度角度傳感器，能夠實現更精確的激光光束閉環控制，在激光衛星通信方面具有巨大的應用潛力。
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技術前沿
上海微系統所衛星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進展
激光制造網 來源：每日經濟新聞2025-05-07
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據“中國科學院上海微系統”公眾號消息，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感器技術全國重點實驗室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研制方面取得重要進展。制...
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